半導(dǎo)體制造中密封樹脂流動(dòng)的問題
本涂層改善了密封樹脂的流動(dòng)性,成功防止芯片被密封樹脂破壞!
改善了可釋放性,使半導(dǎo)體在脫模過程中防止切屑破裂。
減少半導(dǎo)體封裝過程中的缺陷
半導(dǎo)體封裝
半導(dǎo)體的封裝為了提高熱傳導(dǎo),使用含有60-80vol%二氧化硅填料的環(huán)氧樹脂。
該密封樹脂引起各種問題。
密封樹脂注入引起的問題
芯片周邊的密封樹脂的流動(dòng)性差,產(chǎn)生這樣的問題。
隨著高度集成,其頻率正在增加。
該半導(dǎo)體制造脫模涂層顯著降低半導(dǎo)體的缺陷率
芯片及其周圍的涂層可使樹脂流動(dòng)更順暢。
封裝過程中造成的缺陷顯著減少。
并且可以使已完工的半導(dǎo)體具有防潮效果。
脫模期間也出現(xiàn)了問題
密封樹脂難以與金屬模具分離,并且在強(qiáng)應(yīng)力下易產(chǎn)生斷裂
通過將TIS-NM半導(dǎo)體脫模涂層施加到模具上,模具的可釋放性得到改善,密封樹脂容易與模具分離,防止損壞。